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    工業(yè)超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)是什么?

    文章作者:瀅源環(huán)保 發(fā)表時(shí)間: 瀏覽次數(shù):1018次

     

    化學(xué)指標(biāo)單位:μg/L


    序號


    水質(zhì)項(xiàng)目


    一級高純水指標(biāo)


    二級高純水指標(biāo)


    1


    電阻率(25MΩ·cm


    ≥15


    ≥10


    2


    電導(dǎo)率,μs/cm


    0.05


    0.1


    3


    PH


    6.87.2


    6.67.4


    4


    細(xì)菌總數(shù),個(gè)/mL


    3


    9


    5


    微粒(直徑>0.5μm,粒/mL


    150


    300


    6


    二氧化硅


    10


    20


    7


    有機(jī)物(以COD計(jì))


    0.3


    0.5


    8


    Na


    0.5


    2


    9


    Fe


    1


    2


    10


    Cu


    0.5


    1


    11


    Ca


    1


    3


    12


    Mg


    0.2


    1


    13


    Zn


    0.5


    1


    14


    Mn


    0.2


    0.5


     

    說明:①一級高純水合用于大規(guī)模集成電路,微波器件以及有相同要求到半導(dǎo)體器件產(chǎn)品。
       ②二級高純水合用于一般電路,分立器件以及有相同要求的半導(dǎo)體器件產(chǎn)品。
       ③本表按1980年電子產(chǎn)業(yè)部尺度摘錄。
     


     

     

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